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日本尼康(NIKON)_测量仪_VMR-K3040ZC

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日本NIKON尼康 CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-K3040ZC产品叙述:

这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪,它能够在同一视场内,同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测最先进的IC封装的立体形状。

明场

共聚焦

合成效果
应用领域:

硅片级芯片封装(二维+高度)、MEMS、Probe Card等。

特點

領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統
新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用
高精度之高度量測
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)

物鏡選擇

倍率

1.5x

3x

7.5x

工作距離(W.D.)

24mm

24mm

5mm

Confocal optics (測高範圍)

最大測高距離

1mm

1mm

1mm

視野

8mm x 6mm

4mm x 3mm

1.6mm x 1.2mm

Z 軸重複性 (2σ)

0.6μm

0.35μm

0.25μm

 

 
 

 
 



 
 
 


 



 
 

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